デバイスに垂直に接触し、
複雑且つ高精度で信頼性の高い検査を実施
極細径のワイヤープローブ(S-Series)は
半導体ウエハ検査の更なる狭ピッチ化に対応します。
プローブ仕様 | φ74μmTYPE | φ63μmTYPE | φ50μmTYPE | φ38μmTYPE |
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線径 (mm) φD | 0.074 | 0.063 | 0.050 | 0.038 |
絶縁部径 (mm) φOD | 0.093 | 0.083 | 0.070 | 0.050 |
全長 (mm) L | 11.18 | 11.18 | 8.50 | 8.50 |
導体部材質 | パラジウム合金(AgPdCu) | |||
絶縁被膜材質 | アクリル樹脂 |